在當(dāng)今科技領(lǐng)域,等離子體工藝和薄膜沉積技術(shù)扮演著越來(lái)越重要的角色。而在這個(gè)領(lǐng)域,瑞典Ionautics的HiPSTER HiPIMS裝置無(wú)疑是行業(yè)的標(biāo)桿,Ionautics成立于2010年,一直致力于電離物理氣相沉積領(lǐng)域的創(chuàng)新與研究。近期,Ionautics發(fā)布了新產(chǎn)品HiPSTER 20脈沖發(fā)生器,這款專為工業(yè)用途和研發(fā)部門(mén)打造的20 kW高功率HiPIMS解決方案,體現(xiàn)了Ionautics在等離子體工藝和薄膜沉積技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。
HiPIMS技術(shù)
HiPIMS是一種先進(jìn)的薄膜沉積技術(shù),通過(guò)使用標(biāo)準(zhǔn)磁控管的脈沖等離子體放電來(lái)電離材料通量。其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)在于,離子可以通過(guò)電場(chǎng)和磁場(chǎng)的共同作用進(jìn)行引導(dǎo)和操縱,從而在薄膜沉積過(guò)程中獲得卓越的性能。與傳統(tǒng)的薄膜沉積技術(shù)相比,HiPIMS能夠更精確地控制薄膜的厚度、均勻性和附著性等關(guān)鍵參數(shù),從而顯著提高產(chǎn)品的性能和穩(wěn)定性。
Ionautics的HiPSTER裝置在HiPIMS技術(shù)的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步引入了創(chuàng)新的快速開(kāi)關(guān)技術(shù)和擴(kuò)展的HiPIMS脈沖控制技術(shù)。通過(guò)精確的脈沖時(shí)序和幅度控制,實(shí)現(xiàn)了對(duì)等離子體工藝的高效調(diào)控。這種控制技術(shù)使得研究人員能夠更好地掌握等離子體工藝的各個(gè)參數(shù),從而更好地優(yōu)化工藝條件,提高產(chǎn)品的性能和穩(wěn)定性。
關(guān)于HiPSTER 20脈沖發(fā)生器
Ionautics的新產(chǎn)品HiPSTER 20脈沖發(fā)生器針對(duì)工業(yè)用途和研發(fā)部門(mén)的需求,專門(mén)設(shè)計(jì)成一款20 kW的高功率HiPIMS解決方案。它充分利用了HiPIMS技術(shù)的優(yōu)勢(shì),HiPSTER 20脈沖發(fā)生器磁控管尺寸可達(dá) 1700 cm2,能夠在處理大面積工藝時(shí)展現(xiàn)出顯著的優(yōu)勢(shì),并提供卓越的性能和效率。
HiPSTER 20脈沖發(fā)生器特點(diǎn):
恒定電壓,沒(méi)有不必要的震蕩
可通過(guò)主從配置進(jìn)行控制——多個(gè)電源。
新的開(kāi)關(guān)技術(shù)允許HiPIMS脈沖頻率高達(dá) 10 kHz
添加 lonautics 的疊加技術(shù)HIPIMS + DC
可按要求實(shí)施反應(yīng)式 HiPIMS 過(guò)程控制
在平面和可旋轉(zhuǎn)磁控管上進(jìn)行工業(yè)應(yīng)用測(cè)試
放電脈沖電壓和電流的實(shí)時(shí)信息
HiPSTER 20脈沖發(fā)生器應(yīng)用
硬質(zhì)涂層
更光滑、更致密的元素 以及反應(yīng)沉積復(fù)合涂層、可提高硬度、減少 腐蝕,減少摩擦
光學(xué)涂層
提高光學(xué)性能,通過(guò)光滑的界面和致密的結(jié)構(gòu)提高光學(xué)性能
阻隔涂層
通過(guò)增加涂層密度
電氣涂層
提高導(dǎo)電性,從而減少涂層厚度,降低熱負(fù)荷。對(duì)于絕緣體,還可提高隔離度隔熱性能。
3-D 涂層
在形狀復(fù)雜的形狀的基材上
HiPSTER 20脈沖發(fā)生器輸出規(guī)格
輸出平均功率:≤20千瓦
輸出峰值電壓: ≤1000V
輸出峰值電流: ≤2000A
調(diào)節(jié)模式:電壓、電流、功率、脈沖電流、脈沖充電
脈沖頻率: 50 至 10000 赫茲
脈沖持續(xù)時(shí)間:3.5us至1000us
電弧控制-反應(yīng)時(shí)間: 2us
觸發(fā)輸入/輸出: TTL兼容
HiPSTER 20脈沖發(fā)生器輸入規(guī)格
交流輸入電壓: 1相+ N,100-240 VAC,50/60 Hz
230V 時(shí)的輸入電流: 0.7安直流充電輸入: 最大1000 V,浮動(dòng)
HiPSTER 20脈沖發(fā)生器環(huán)境指標(biāo)
工作溫度: +5°C 至 +40°C
儲(chǔ)存溫度: -25°C 至 +55°C
相對(duì)濕度: 最大 85%,非冷凝
氣壓: 80 kPa 至 106 kPa
冷卻方式: 風(fēng)冷
污染等級(jí): 2級(jí)。冷卻空氣必須正常,不含腐蝕性蒸氣并且導(dǎo)電顆粒。
規(guī)格: CE 認(rèn)證
瑞典Ionautics HiPSTER HiPIMS裝置以其創(chuàng)新的科技和卓越的性能引領(lǐng)了等離子體工藝的新篇章。HiPSTER 20脈沖發(fā)生器以其高效、可靠、大尺寸的特點(diǎn),成為適用于工業(yè)用途和研發(fā)部門(mén)20 kW HiPIMS解決方案的理想選擇。無(wú)論是在科研領(lǐng)域還是在工業(yè)生產(chǎn)中,Ionautics以領(lǐng)先的電離物理氣相沉積技術(shù),為您提供先進(jìn)的工具和專業(yè)知識(shí)。
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